【摘 要】
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考虑微生化传感器中谐振器的结构特点,基于Kirchhoff薄板理论与表面弹性理论推导了考虑表面效应的双层圆板的自由振动方程.使用伽辽金法得到了近似解.分析了硬化与软化表面效
【机 构】
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齐鲁工业大学(山东省科学院)机械与汽车工程学院,济南,25035
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考虑微生化传感器中谐振器的结构特点,基于Kirchhoff薄板理论与表面弹性理论推导了考虑表面效应的双层圆板的自由振动方程.使用伽辽金法得到了近似解.分析了硬化与软化表面效应与表面残余应力对双层圆板固有频率的影响.结果表明,与已有简化的单层圆板模型相比,现有考虑表面效应的双层板模型会得到与之不同的固有频率.随着板厚与上下两层板厚度比的变化,单层板模型预测的结果会比实际值偏大或者偏小,将无法为传感器膜片的研究与设计提供准确的理论值.对具有双层结构的传感器膜片的理论研究,使用现有模型得到的结果更加准确.
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