非晶硅微测辐射热计热学和光学分析

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：bbdzj

【摘要】

：

通过理论计算得到了桥腿长度和宽度与热导和桥面温升之间的线性关系，辐射功率和桥面温升之间的线性关系，并利用ANSYS软件对线性关系进行模拟验证．根据光学导纳矩阵法，利用Mat Lab

【作者】

：

李世彬吴志明蒋亚东李伟廖乃镘

【机构】

：

电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2006年05A期

【关键词】

：

微测辐射热计非晶硅微桥有限元 bolometer amorphous silicon micro-bridge FEA

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通过理论计算得到了桥腿长度和宽度与热导和桥面温升之间的线性关系，辐射功率和桥面温升之间的线性关系，并利用ANSYS软件对线性关系进行模拟验证．根据光学导纳矩阵法，利用Mat Lab软件模拟微测辐射热计对红外线的吸收率，结果表明微测辐射热计对8～13μm波段红外有很好的吸收率．分析结果为微测辐射热计的研制提供了可靠依据．

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