【摘 要】
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时栅角位移传感器是一种新型原理的角位移测量器件,采用自准直仪与正多面棱体对安装有时栅传感器的数控转台进行了角度误差的测量,实验结果表明,该时栅数控转台具有分度误差小、定位精度高、重复性好等优点。
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时栅角位移传感器是一种新型原理的角位移测量器件,采用自准直仪与正多面棱体对安装有时栅传感器的数控转台进行了角度误差的测量,实验结果表明,该时栅数控转台具有分度误差小、定位精度高、重复性好等优点。
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