Studies of metrological characteristics of capacitance diaphragm gauge

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:missjiro
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【正】 The metrological characteristics of the capacitance diaphragm gauge (CDG) are studied from various aspects. From the experiments, we find out that the zero stability for a higher pressure measurement gauge is affected mainly by temperature and for a l
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