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本文对Ｇ．Ｋ．Ｍａｙｅｒ等人提出的，用（１００）条对（１００）Ｓｉ凸角补偿的方法进行了深入研究，指出了该方法在腐蚀槽较窄时的局限性，在此基础上提出了一种改进的新方法，并给出了理论分析及实验结果。
（100）Si在KOH中各向异性腐蚀的凸角补偿新方法
【摘 要】
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本文对Ｇ．Ｋ．Ｍａｙｅｒ等人提出的，用（１００）条对（１００）Ｓｉ凸角补偿的方法进行了深入研究，指出了该方法在腐蚀槽较窄时的局限性，在此基础上提出了一种改进的新方法，并给出了理论分析及实验结果。
【机 构】
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清华大学微电子学研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1996年12期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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