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作为一类新型LCD技术的LCoS显示屏是一种反射式液晶显示器,其镜面反射电极的平整性决定了整个显示器的亮度和对比度等主要显示参数.本文详细讨论了CMP技术在LCoS液晶显示器中实现平坦化的机理.
CMP平坦化技术在LCoS显示器中的应用
【摘 要】
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作为一类新型LCD技术的LCoS显示屏是一种反射式液晶显示器,其镜面反射电极的平整性决定了整个显示器的亮度和对比度等主要显示参数.本文详细讨论了CMP技术在LCoS液晶显示器中
【机 构】
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南开大学信息学院,北京微电子技术研究所
【出 处】
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光电子技术
【发表日期】
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2003年1期
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