【摘 要】
:
随着超大规模集成电路的发展,半导体芯片中元器件的特征尺寸越来越小,已经进入了深亚微米时代。近几年新发展起来的红外发光显微镜技术,能利用集成电路(IC)器件中大多数缺陷
论文部分内容阅读
随着超大规模集成电路的发展,半导体芯片中元器件的特征尺寸越来越小,已经进入了深亚微米时代。近几年新发展起来的红外发光显微镜技术,能利用集成电路(IC)器件中大多数缺陷都呈现微弱红外发光的现象,迅速准确地定位失效点,成为对IC进行失效缺陷定位的有力工具。本文介绍了半导体的发光机理,红外发光显微镜的基本结构、主要部件及技术特点。通过对两个IC失效样品的分析实例,介绍红外发光显微镜及其补充技术——激光束诱导电阻率变化测试技术在IC失效分析中的具体应用。
其他文献
患者女,16岁,92年2月发现左下腹有一2cm肿物。当地医院行剖腹探查术见该肿物位于腹膜后,与乙状结肠、输尿管粘连,手术切除肿物,术中损伤肠管及输尿管,肿物切除不完全,10天后
目的观察研究优质护理在神经外科疾病患者中的临床效果。方法将我院神经外科于2015年2月至2016年2月收治的100例患者分为对照组(50例)与实验组(50例)。对照组采取神经外科常
地下连续防渗墙主要适用于堤身及基础的垂直防渗,也可用作土石坝防渗加固和坝体防渗心墙。经过多年实践和探索,我国堤防地下连续防渗墙施工技术有了很大进展。与以往技术设备相
水草造景概略随着我国水族业的蓬勃发展,许多水族爱好者已不满足于单纯的养鱼,开始了鱼、草共养,乃至将水草、岩石、沉木和鱼等有机地组成一幅逼近自然生态景观的水草造景。与养
法社会学模式是从社会学角度切入法学领域,只从事实出发论及法律现象,从案件社会学和法律量的变化中重新认识诉讼策略和司法改革趋势,构建社会学视野下的司法理想,具有重要的
砌体工程是主体结构工程中一项重要的分项工程,填充墙又是砌体工程的一种类型,它的质量好坏直接影响到结构评优,又影响到装饰工程施工质量.若质量不达标可导致墙体出现裂缝,
纳豆激酶是一种具有高效纤维蛋白溶解活性的丝氨酸蛋白酶,由枯草属菌株、假单胞菌属菌株和海洋生物合成.与常规的纤维蛋白溶解酶相比,纳豆激酶具有高效、无毒、半衰期长、可
<正>"范式转换"~①这一概念最早是由托马斯·库恩在《科学革命的结构》一书中提出来的,这里借用这一概念指称新世纪我国谍战剧创作理念及方式上的转变。在21世纪经济全球化、
<正> 现阶段,党内较为普遍而又不同程度地存在着党员荣誉感日趋淡化的现象。本文拟就这一现象产生的原因、造成消极效应以及如何有针对性地强化党员的荣誉感等作探讨。一、党
少花龙葵俗称白花菜、古钮草、扣子草、野辣椒,是茄科一年生直立分枝的草本叶菜类蔬菜.多生长在果园、田边、村边路旁等地,群众素有采食习惯,特别是炎夏季节,叶菜类品种缺乏