非晶半导体超晶格喇曼谱中类光学膜的研究

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：mountaineer

【摘要】

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在非晶半导体超晶格喇曼谱中,从类光学模(TO-Like mode)的半高峰(陡边)宽(HWHM )及峰位置可得到有关微结构的一系列参量:如键角的变化、靠近界面附近处每个键的平均畸变能、

【作者】

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程光煦陈坤基

【出处】

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半导体学报

【发表日期】

：

1991年7期

【关键词】

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非晶硅超晶格喇曼谱类光学膜

【基金项目】

：

国家自然科学基金

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在非晶半导体超晶格喇曼谱中,从类光学模(TO-Like mode)的半高峰(陡边)宽(HWHM )及峰位置可得到有关微结构的一系列参量:如键角的变化、靠近界面附近处每个键的平均畸变能、层间界面处的张力等物理量、将两组不同调制参数的超晶格情况对比,可更清楚地理解其结构,使人们对非晶硅超晶格的微结构有进一步的了解.

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