【摘 要】
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<正> 一、序言 1983年3月17日,在位于美国新泽西州バ一クレィハィツ的化学分析公司,发生了硅烷高压容器爆炸火灾事故。事故概况已介绍过一部分。在这次事故中除死亡3人和重伤
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<正> 一、序言 1983年3月17日,在位于美国新泽西州バ一クレィハィツ的化学分析公司,发生了硅烷高压容器爆炸火灾事故。事故概况已介绍过一部分。在这次事故中除死亡3人和重伤1人外,还因许多毒性气体容器被引渡和灭火浇水有使有害物质流出的危险,迫使向附近居民发出了避难的命令,给社会造成了极大的影响。已了解到SiH_4容器中混入了氧化亚氮(N_2O),SiH_4浓度达30％,在将该容器装车时,由于某些原因引起了着火爆炸。关于SiH_4容器中混入
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本文阐述了６３５．６１６ＭＨｚ窄带ＳＡＷＦ设计特点，并着重对其叉指电极制作中的光刻、刻蚀及膜厚测量等工艺进行了探讨。该ＳＡＷＦ插入损耗小于１５．５ｄＢ，Ｑ值高于６０Ｏ
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