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期刊论文
新型高效气体净化剂
新型高效气体净化剂
来源 :低温与特气 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yanwuhui
【摘 要】
:
<正> 我组从60年代起,在超纯气体制备、气体分离、气体净化和分析检测等方面进行了研究与开发。近几年来,研究出的新型高、效气体净化剂,主要性能指标处于国内外领先地位,已
【作 者】
:
唐学渊
张俊香
【机 构】
:
中国科学院大连化学物理研究所,中国科学院大连化学物理研究所大连116012,大连116012
【出 处】
:
低温与特气
【发表日期】
:
1992年1期
【关键词】
:
气体
净化剂
纯化
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<正> 我组从60年代起,在超纯气体制备、气体分离、气体净化和分析检测等方面进行了研究与开发。近几年来,研究出的新型高、效气体净化剂,主要性能指标处于国内外领先地位,已在半导体电子工业、冶金工业、石油化工、金属有机合成及某些新技术领域中得到广泛应用。现将几种新型高效气体净
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