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脉冲激光烧蚀沉积纳米Si膜动力学研究现状
脉冲激光烧蚀沉积纳米Si膜动力学研究现状
来源 :河北大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:lijie041132
【摘 要】
:
Si基纳米材料在半导体光电集成领域有着十分诱人的前景,脉冲激光烧蚀技术是目前材料界和分析界最有前景的技术之一.介绍了脉冲激光烧蚀沉积Si基纳米材料的基本原理,从实验和
【作 者】
:
张荣梅
王英龙
【机 构】
:
河北大学物理科学与技术学院
【出 处】
:
河北大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2003年3期
【关键词】
:
脉冲激光烧蚀
沉积
动力学
纳米Si膜
laser ablation
deposition
dynamics
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Si基纳米材料在半导体光电集成领域有着十分诱人的前景,脉冲激光烧蚀技术是目前材料界和分析界最有前景的技术之一.介绍了脉冲激光烧蚀沉积Si基纳米材料的基本原理,从实验和理论方面对其动力学研究现状进行了综述.
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