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在半导体材料生产过程中，对推舟系统在不同温度条件下位移及时间等参数实现自动控制这一课题的研究，提出了一个基于单片机数控技术为核心的总体解决方案。
数控技术在半导体材料生产中的应用
【摘 要】
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在半导体材料生产过程中，对推舟系统在不同温度条件下位移及时间等参数实现自动控制这一课题的研究，提出了一个基于单片机数控技术为核心的总体解决方案。
【机 构】
：
太原市电子研究设计院
【出 处】
：
机械管理开发
【发表日期】
：
2000年4期
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