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本文目的在于改进霍尔源的设计,实现宽能、大束流、低气耗、低污染、能自动化控制的新一代霍尔源.
关于辅助沉积霍尔离子源的几个问题
【摘 要】
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本文目的在于改进霍尔源的设计,实现宽能、大束流、低气耗、低污染、能自动化控制的新一代霍尔源.
【机 构】
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中科院空间科学与应用研究中心
【出 处】
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真空科学与技术学报
【发表日期】
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2004年4期
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