背面敏感SFSR传感器的研究

来源 :华南理工大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jacky899
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针对”传感器中毒“现象,在正面敏感的扩展电阻硅流量传感器的基础上,提出背面敏感的SRSF传感器,并设计出相应的表面贴装元件封装形式。理论推导和测试结果表明:背面敏感的SRSF传感器的输出电压和流体流速、流向的关系可表述为Vout=±K.ΔTc.u√f;芯片厚度对灵敏度影响很大,其最值值为150βm。
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