添加Li_2CO_3的ZnO陶瓷靶体和薄膜的表面分析

来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gongzi2009

【摘要】

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本文主要介绍采用AES,XRD等分析仪对添加Li_2CO_3的ZnO靶体和薄膜微观结构和表面状态的进行的分析和讨论. This paper mainly introduces the analysis and discussion on t

【作者】

：

盛敏华蔡起善

【机构】

：

四川压电与声光技术研究所,四川压电与声光技术研究所

【出处】

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压电与声光

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

靶体薄膜能量值微观结构陶瓷表面分析元素晶界晶粒热分析曲线

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本文主要介绍采用AES,XRD等分析仪对添加Li_2CO_3的ZnO靶体和薄膜微观结构和表面状态的进行的分析和讨论. This paper mainly introduces the analysis and discussion on the microstructure and surface state of ZnO target and thin film doped with Li_2CO_3 by AES, XRD and other analyzers.

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