【摘 要】
：
反应离子刻蚀（RIE）是超导器件制备中重要工艺流程之一.本文介绍了利用RIE对超导Nb薄膜进行刻蚀时通过调节刻蚀参数来调控薄膜侧壁的边缘倾角.由于Nb薄膜刻蚀的边缘倾角主要取决
【机 构】
：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海科技大学物质科学与技术学院,
论文部分内容阅读
反应离子刻蚀（RIE）是超导器件制备中重要工艺流程之一.本文介绍了利用RIE对超导Nb薄膜进行刻蚀时通过调节刻蚀参数来调控薄膜侧壁的边缘倾角.由于Nb薄膜刻蚀的边缘倾角主要取决于Nb薄膜和光刻胶的刻蚀速率比,因此我们通过在RIE反应气体CF4中添加不同比例的氧气,同时调节流量、功率等其他刻蚀参数,获得不同的刻蚀速率和边缘倾角.我们利用SEM对刻蚀后的Nb线条进行表征,从而获得边缘倾角随不同氧气配比的变化曲线.本工作对于Nb基SQUID等多层平面器件的制备具有较大意义.通过控制Nb薄膜的边缘倾角可以改善层间线条交叠部分的有效过渡,而较陡直的超导薄膜边缘有利于降低磁通钉扎几率,从而改善SQUID低频噪声性能.
其他文献
目的观察尼妥珠单抗联合同步放化疗治疗局部晚期鼻咽癌的安全性和有效性。方法 40例Ⅲ～Ⅳa期初治鼻咽部未分化非角化性癌患者,按就诊单双号分为两组,每组20例。治疗组采用尼妥
生物质能的研究与开发的目的是解决化石资源短缺和温室气体排放等全球性问题。利用油料作物生产生物柴油和利用淀粉作物生产燃料乙醇是当前生物质能产业化开发的重要内容,其
对多种球顶高音扬声器单元进行了双扬声器协同工作的测试,结果表明一些球顶高音单元在超高频段特别是10kHz以上频段干涉条件发生改变,不再保持额外的3dB完全干涉增益,造成声
目的:探讨心电编辑技术在64层螺旋CT冠状动脉成像检查中心电信号异常患者中的应用价值。方法:本研究回顾分析我院心内科2014年1月至2017年12月之间收治1200例64层螺旋CT冠状
目的:用光学相干断层扫描(optical coherence tomo-graphy,OCT)测定糖尿病病人的视网膜形态,并分别比较糖尿病视网膜病变早期(non-diabetes retinopathy,NDR)及非增殖期(non-
<正>心律失常是心内科常见病、多发病,我们自2000年7月-2005年3月用血府逐瘀汤治疗心律失常患者192例,并设204例的对照观察组,疗效较好,现总结报道如下。1临床资料所有入选病
对１９９１年来发生在连云港市，因食用含有麻痹性贝类毒素的荔枝螺、泥螺引起中毒并致死亡的５起贝类中毒的流行病学特征、临床表现及毒素的毒力和理化性质作了初步分析，并对其发生机理及
中国的冻胀研究从５０年代末期开始，经科研单位、勘察设计院和大专院校冻土工作者近４０年的努力，通过现场观察、原位测试、室内试验和计算机模拟等多种手段，开展了冻胀量、冻胀力、冻胀
为了解决阜新市农产品在整个流通过程中的问题,采用AHP模糊评价的方法,对配送中心的选址进行合理的选择,构建完善的物流配送体系,从而建立成本最小的离散型备选地址,解决了阜
"城市交往"这一概念属于城市传播学的范畴,城市传播学研究在我国传播学领域刚刚兴起,但其理论根源要回溯到以芝加哥学派为代表的城市社会学理论中去。城市交往对城市的可持续