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应用压电陶瓷振动台振动钻削装置，采用变进给量振动钻削法加工微小孔，并用工具显微镜对入钻定位误差和出口毛刺进行测量。采用最小二乘法对所得试验数据进行处理，从而得到进给量与出口毛刺之间的关系，通过对两种条件下（变进给量振动钻削和普通钻削）所得试验数据的比较可知，变进给量振动钻削能使加工质量得到很大提高。