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利用磁控溅射的方法，在Ni基体上形成致密的氧化物薄膜，用做铝电解实验的惰性阳极．用X射线衍射(XRD)分析、电子显微(SEM)分析，对实验前后薄膜的成分、形貌进行了定性分析和观察．实验结果表明：薄膜纳米尺寸的微小颗粒紧密排布；在960℃冰晶石熔盐电解质中，试样电极具有良好的耐腐蚀性能．
磁控溅射制作铝电解用惰性阳极
【摘 要】
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利用磁控溅射的方法，在Ni基体上形成致密的氧化物薄膜，用做铝电解实验的惰性阳极．用X射线衍射(XRD)分析、电子显微(SEM)分析，对实验前后薄膜的成分、形貌进行了定性分析和观察．实
【机 构】
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山东师范大学半导体研究所,淄博职业学院
【出 处】
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山东理工大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2004年1期
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