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采用射频共溅射方法制备了不同金属体积分数fv的Fe-SiO2颗粒,利用X射线衍射、透射电镜、Mossbauer效应和振动样品磁强计详细研究了薄膜的结构、磁性及磁电阻效应。结果表明:fv为0.33时,得到磁电阻最大值-3.3%。Fe0.33(SiO2)0.67样品室温下表现出超顺磁性,对该样品的变温Mossbauer谱研究表明:颗粒的尺寸分布满足对数正态分布。探讨了TMP与Fr的依赖关系。