纳米压痕数字控制系统分析

来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qijisama
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本文首先介绍了纳米压痕系统的结构及原理,然后着重对其控制系统进行分析,研究了控制参数的设置方法,分析了系统的稳定性,给出仿真结果,最后,分析了执行元件存在的误差,并给出了消除误差的方法。
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