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期刊论文
射频微机械共面波导开关测试技术研究
射频微机械共面波导开关测试技术研究
来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dejia2000
【摘 要】
:
通过对射频微机械共面波导(CPW)开关的工作原理进行分析,提出了一种测试射频微机械开关的电路结构.根据Cadence工作站的模拟,验证了该方案的可行性,并获得了该测试结构的优化
【作 者】
:
张正元
肖坤光
徐世六
张正璠
欧益宏
温志渝
【机 构】
:
重庆大学,中国电子科技集团公司,重庆大学
【出 处】
:
微电子学
【发表日期】
:
2003年1期
【关键词】
:
射频微机械
共面波导开关
金属膜
CPW
工作原理
RF MEMS Coplanar waveguide switch Metal film
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通过对射频微机械共面波导(CPW)开关的工作原理进行分析,提出了一种测试射频微机械开关的电路结构.根据Cadence工作站的模拟,验证了该方案的可行性,并获得了该测试结构的优化电参数条件,为射频微机械CPW开关的测试和应用打下了基础.
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