用RHEED方法分析半导体薄膜特性

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在讨论RHEED原理的基础上,介绍了组建的RHEED和其附属的真空系统,并用此装置得到了Si薄膜的RHEED衍射花样。本文还对实验条件和实验结果进行了简单的分析和介绍。
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