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采用原子力显微镜（ＡＦＭ），对常见的氧化物单层膜、增秀膜和高反膜的表面形貌进行了观测，并初步研究了激光预处理对薄膜表面形貌的影响。
光学薄膜表面形貌的原子力显微镜观察
【摘 要】
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采用原子力显微镜（ＡＦＭ），对常见的氧化物单层膜、增秀膜和高反膜的表面形貌进行了观测，并初步研究了激光预处理对薄膜表面形貌的影响。
【机 构】
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四川大学电子信息学院,西南技术物理所
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2000年5期
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