【摘 要】
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半导体精密生产和测试设备的主要供应商SUSS MicroTec已为飞斯卡尔半导体公司安装了几套MEMS系统,该系统包括新型DSM200系列的前后对准检验系统、最新的SUSS MA200小型掩模对
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半导体精密生产和测试设备的主要供应商SUSS MicroTec已为飞斯卡尔半导体公司安装了几套MEMS系统,该系统包括新型DSM200系列的前后对准检验系统、最新的SUSS MA200小型掩模对准器和用于MEMS传感器的SUSS ABC200晶圆键合群集系统。安装了SUSS小型掩模对准器后,常用于MEMS生产、
SUSS MicroTec, a major supplier of semiconductor precision manufacturing and test equipment, has installed several MEMS systems for the company, including the new DSM200 series of front-to-back alignment inspection systems, the latest SUSS MA200 mini mask aligner and SUSS ABC200 Wafer Bonding Cluster System for MEMS Sensors. After the installation of SUSS small mask aligner, commonly used in MEMS production,
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