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碳化硅纳米粉体性能优于传统的碳化硅粉体,能够达到高新技术领域的严格要求,具有更为广泛的用途。综述了近年来在高新技术领域发展起来的碳化硅纳米粉体的制备方法,对一些新的制备方法进行了重点介绍,阐述了各种方法的基本原理、特点及研究现状,并对各种方法进行了比较。碳热还原法原料便宜,质量稳定,易实现工业化生产;液相法可制得纯度高的纳米级微粉;气相法是目前比较先进的方法,但不易实现大批量生产。未来碳热还原法将继续占主导地位,提出了该领域科学工作者的努力方向。