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美国Cymer公司与德国卡尔·蔡司SMT公司组成的一家合资企业——TCZ公司日前面向制造平面显示器（FPD）发布一种创新型生产工具——TCZ-900X。这种先进的TCZ-900X制造工具用于帮助低温多晶硅（LTPS）显示器厂商提高量产产出效率和降低雷射结晶成本。
TCZ发布平面显示器制造用的低温多晶硅结晶设备
【摘 要】
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美国Cymer公司与德国卡尔·蔡司SMT公司组成的一家合资企业——TCZ公司日前面向制造平面显示器（FPD）发布一种创新型生产工具——TCZ-900X。这种先进的TCZ-900X制造工具用于
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2005年9期
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