平面平晶工作面平面度测量结果的不确定度评定

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平面平晶工作面平面度的测量是平面度测量中最重要的测量之一,但目前对于平面平晶工作面平面度测量结果的不确定度评定却是仁者见仁、众说不一。因为此评定过程需要运用实际测量数据,下面以Φ100mm平面平晶工作面平面度的测量结果为例进行不确定度评定。 The measurement of the flatness of a flat face is one of the most important measurements in the flatness measurement. However, the evaluation of the uncertainty of the flatness measurement result of a flat face is actually a matter of opinion. Because this assessment process needs to use the actual measurement data, the following to Φ100mm plane flat face measurement results as an example to assess the uncertainty.
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