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欧姆龙日前宣布，在其子公司欧姆龙半导体（OSC）内建造从产品开发到量产的用于生产MEMS部件的200mm晶圆生产线。该生产线计划于2008年4月开始量产MEMS麦克风，之后还将生产RFMEMS开关及压力传感器等市场需求有望扩大的MEMS元器件。
欧姆龙建生产MEMS部件的200mm品圆生产线
【摘 要】
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欧姆龙日前宣布，在其子公司欧姆龙半导体（OSC）内建造从产品开发到量产的用于生产MEMS部件的200mm晶圆生产线。该生产线计划于2008年4月开始量产MEMS麦克风，之后还将生产RFMEMS开
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2008年1期
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