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应用Bede RADS软件对半导体和外延层晶体结构的摇摆曲线进行动态模拟。通过理论上的实验条件对复杂结构的材料(包括不同组成、厚度以及量子阱数等)进行模拟。以GaAllnAs外延层为例,拟合出不同条件下的摇摆曲线,希望对材料的生长有较大的指导意义。
半导体薄膜及外延层材料摇摆曲线的动态模拟
【摘 要】
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应用Bede RADS软件对半导体和外延层晶体结构的摇摆曲线进行动态模拟。通过理论上的实验条件对复杂结构的材料(包括不同组成、厚度以及量子阱数等)进行模拟。以GaAllnAs外延
【机 构】
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南昌大学分析测试中心,南昌大学分析测试中心江西南昌330047,江西南昌330047,江西南昌330047
【出 处】
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化工时刊
【发表日期】
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2005年9期
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