微气体流量计的模拟与优化

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【摘要】

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温差法测流量是一种新型气体流量计的基本原理,温度传感器的布置对流量计的性能影响很大.本文使用基于分子运动理论的直接模拟Monte Carlo法对这种微气体流量计通道内的气体

【作者】

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王沫然陈泽敬李志信

【机构】

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清华大学工程力学系传热强化与过程节能教育部重点实验室

【出处】

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微纳电子技术

【发表日期】

：

2003年7期

【关键词】

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微气体流量计数值模拟温差法温度传感器直接模拟MonteCarlo法

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温差法测流量是一种新型气体流量计的基本原理,温度传感器的布置对流量计的性能影响很大.本文使用基于分子运动理论的直接模拟Monte Carlo法对这种微气体流量计通道内的气体流动进行了数值模拟,对比了有无传感器时速度场和温度场的分布,指出传感器的布置对温度场的影响很小,并根据温差分布规律提出了传感器布置的优化方案.

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