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叙述了ＳＯＩ ＣＭＯＳ迅猛发展的原因及技术背景、ＳＯＩ ＣＭＯＳ的特征及其适应ＬＳＩ低功耗和高速化要求的特点。并就ＳＯＩ ＣＭＯＳ在结构优化、性能提高等方面的发展态势作一论述。
SOI CMOS的开发现状和21世纪的展望
【摘 要】
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叙述了ＳＯＩ ＣＭＯＳ迅猛发展的原因及技术背景、ＳＯＩ ＣＭＯＳ的特征及其适应ＬＳＩ低功耗和高速化要求的特点。并就ＳＯＩ ＣＭＯＳ在结构优化、性能提高等方面的发展态势作一论述。
【机 构】
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电子十三所
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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2000年6期
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