钛酸钡系薄膜的制备方法、性质及应用

来源 :无机盐工业 | 被引量 : 0次 | 上传用户：strongit_likai

【摘要】

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综述了制备钛酸钡系薄膜的各种方法,如:溶胶-凝胶法、有机金属化学气相沉积法、射频磁控溅射法、脉冲激光沉积法等,其中主要对溶胶-凝胶法和射频磁控溅射法的制备原理及工艺

【作者】

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翟学良杨芙丽明常鑫高涛

【机构】

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河北师范大学实验中心,石家庄化肥厂

【出处】

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无机盐工业

【发表日期】

：

2004年4期

【关键词】

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钛酸钡薄膜制备 BaTiO_(3)thin filmpreparation

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综述了制备钛酸钡系薄膜的各种方法,如:溶胶-凝胶法、有机金属化学气相沉积法、射频磁控溅射法、脉冲激光沉积法等,其中主要对溶胶-凝胶法和射频磁控溅射法的制备原理及工艺特点进行了讨论.介绍了钛酸钡薄膜的性质和掺杂后(主要是锶掺杂)对薄膜电性能的影响,对它们的应用现状进行了概括,并对钛酸钡系薄膜的发展趋势做了展望.

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