论文部分内容阅读
采用磁控溅射在载玻片上制备掺铝氧化锌AZO透明导电薄膜,并用扫描电子显微镜观察薄膜的表面形貌,四探针电阻率测试仪测量样品的方块电阻和电阻率,分光光度计测量薄膜透射率.结果表明当功率、温度、氢气掺杂比为200 W、300℃、8％时,制备的AZO薄膜具有最小的方块电阻和电阻率,且在可见光区域内透射率均超过80％.