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利用单束强聚焦激光产生的光学力可以驱动微型器件，具有无机械接触和无需导线等优点，为微型机电系统提供了一种新型的驱动方式。在自行研制的飞秒激光微细加工系统中，采用一种新型的雨烯酸酯紫外光固化树脂，通过双光子聚合加工出直径，6μm的万字形微转子。利用光镊装置实现了微转子的俘获，并在激光功率50mW时实现了转速为200rpm的光致旋转。微型转子的光致旋转为实现微机械马达提供了一种有效手段。