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利用超声喷雾热解法以乙酸锌、硝酸铝为Zn、Al源配制前驱体溶液,按不同的Zn、Al原子比（1∶0.02,1∶0.03,1∶0.04,1∶0.05和1∶0.06）在单晶硅（100）衬底上制备出具有较好光致发光性能的ZnO：Al（AZO）薄膜.采用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）和光致发光谱（PL）表征了样品的晶体结构、表面形貌和光致发光性能.结果表明：所制备样品属于纤锌矿ZnO结构,且择（002）取向生长,薄膜表面比较平整,具有较好的光致发光性能.并且Al掺杂量对AZO薄膜的紫外发射性能有重