椭圆偏振光谱方法的发展现状

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介绍了现有几种椭圆偏振光谱分析方法的现状,分别对其优缺点进行了评述。着重介绍了作者提出的V_(op) -λ谱图表示的方法,其优点是只需直接测得光学参量及其变化规律,而无需对被测对象作出模型假定,光谱图中谱峰能表征表面状态和结构的变化。
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