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本文阐述了SiO2腐蚀清洗机的主要结构和适用范围,着重介绍了该设备设计与制造过程中的主要技术关键和解决途径,以及投入使用后所取得的社会和经济效益.
GFQ—1 SiO2腐蚀清洗机的研制
【摘 要】
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本文阐述了SiO2腐蚀清洗机的主要结构和适用范围,着重介绍了该设备设计与制造过程中的主要技术关键和解决途径,以及投入使用后所取得的社会和经济效益.
【机 构】
：
无锡华晶电子设备制造有限公司
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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2001年4期
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