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采用高分辨电子能量损失谱对比研究Mo（CO）6在清洁的、预吸附氧的和深度氧化的Si（111）表面上的吸附行为．吸附Mo（CO）6的C—O伸缩振动模式向低频方向移动，说明Mo（CO）6与清洁Si（111）和SiO2／Si（111）表面发生了不同的相互作用，前者较弱而后者较强．与Si02／Si（111）表面的强相互作用可能引起Mo（CO）6部分解离，形成部分分解的羰基钼物种．以Mo（CO）6为前驱体，能够成功地在Si02／Si（111）表面上沉积金属Mo，而在清洁Si（111）表面上则不能．在Si02／Si（