【摘 要】
：
采用直流反应磁控溅射与高温退火工艺大批量制备了膜厚为200 nm、400 nm及800 nm的2英寸蓝宝石基氮化铝模板,并对高温退火前后不同膜厚模板使用各种表征手段进行对比分析。结
【机 构】
：
上海大学材料科学与工程学院,奥趋光电技术（杭州）有限公司
论文部分内容阅读
采用直流反应磁控溅射与高温退火工艺大批量制备了膜厚为200 nm、400 nm及800 nm的2英寸蓝宝石基氮化铝模板,并对高温退火前后不同膜厚模板使用各种表征手段进行对比分析。结果表明:采用磁控溅射制备膜厚为200 nm的模板经高温退火后晶体质量得到显著提升,退火前后整片(0002)面和(10-12)面高分辨率X射线衍射摇摆曲线半高宽分别从632~658 arcsec和2580~2734 arcsec下降至70.9~84.5 arcsec和273.6~341.6 arcsec;模板5μm×5μ
其他文献
现代英语教育越来越重视文化的问题,研究者对于教材编写中所包含的文化问题也进行了广泛讨论。语言是反应文化的媒介,英语课文中输出的文化会影响到人们对于事物的看法,因此
松果体在人脑百会穴下,双眉之间,印堂之后深处,位于第三脑室。其分泌的主要效应物质褪黑素具有调节生物钟、生殖和抗氧化等作用。尽管褪黑素对下丘脑-垂体-卵巢轴整体呈现抑
为控制堆肥过程中产生的臭气,开展了3种不同通风方式下的猪粪和秸秆堆肥试验,通过连续监测堆肥过程中氨气、硫化氢、总挥发性有机物(total volatile organic compounds,TVOCs
众地图生产商利用自身的优势整合硬件资源直接推出导航系统,和诸多硬件企业争夺市场,有没有这种可能性呢?带着这样的疑问,记者采访了国内三家主流地图生产商：四维图新、瑞图万
随着新课改理念的深入执行,小组教学法已经成为学院高职英语教学的一种普遍形式。根据智能控制专业的学生的学情分析,在英语课堂学习中对学生实行小组合作学习,让学生在完成
家用音响功放中,一台功放通常由好几个部分组成,放在架上如层层叠叠的页岩;车用功放中,却很少见到分体式功放,可能是考虑到车内空间和行车环境的原因,车载功放一般设计为一体
单方解除,是订立劳动合同后、合同尚未到期前、出于劳动者或用人单位单方面的缘故,或者说是因为过错,或者说没有过错,使得劳动者或者用人单位自己在合同约定订立期之前解除劳
基于学生个体差异的现状,在不同类型的生物课堂——实验探究课、概念建构课、复习讲评课中采用灵活多样合作学习策略,通过精心分组,简化分工,同伴互助方式有效缩小学生个体差
近些年来,户外体育运动在我国蓬勃迅猛的发展,户外运动已经逐步成为当今体育发展的一个新的方向和体育研究的热门课题。同时,由于户外运动所特有的魅力,其在普通高校的体育课
商鞅通过总结前人的法治思想,经过将自己的法律思想与前人的法律思想进行融合,形成了一套属于自己的法治理论。商鞅对法范畴与立法原则的理解,标志着中国古代法学理论迈上了