【摘 要】
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利用中子嬗变掺杂(NTD)制备的CZSi(NTDCZSi)中大量存在的辐照缺陷在高温短时间(1100℃,4～8h)退火就可以完成NTDCZSi的IG处理,与CZSi的IG处理相比具有时间短、重复性、可靠性和
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利用中子嬗变掺杂(NTD)制备的CZSi(NTDCZSi)中大量存在的辐照缺陷在高温短时间(1100℃,4～8h)退火就可以完成NTDCZSi的IG处理,与CZSi的IG处理相比具有时间短、重复性、可靠性和稳定性规范性好的优点,在LSl制备中取得了良好的效果。
A large number of irradiation defects of CZSi (NTDCZSi) prepared by neutron transmutation doping (NTD) can be treated with NTDCZSi by annealing at high temperature and short time (1100 ℃, 4 ~ 8h). Compared with the IG treatment of CZSi Has the advantages of short time, repeatability, good reliability and stability of the normative good results in the preparation of LSl achieved good results.
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