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聚酰亚胺与硅片粘附牢度的研究
聚酰亚胺与硅片粘附牢度的研究
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gxlzx
【摘 要】
:
本文针对聚酰胺与硅片粘附性问题进行了实验和考察,提出了一种新的提高其粘附牢度的方法,此方法就是通过使用简单方便的液相钝化方法,先在硅片表面上生长一层薄膜,再在生长的
【作 者】
:
彭昭廉
黄秋芝
【机 构】
:
华中理工大学固电系
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
1990年1期
【关键词】
:
聚酰亚胺
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本文针对聚酰胺与硅片粘附性问题进行了实验和考察,提出了一种新的提高其粘附牢度的方法,此方法就是通过使用简单方便的液相钝化方法,先在硅片表面上生长一层薄膜,再在生长的薄膜上用聚酰农副业 胺进行保护.
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