聚酰亚胺与硅片粘附牢度的研究

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本文针对聚酰胺与硅片粘附性问题进行了实验和考察,提出了一种新的提高其粘附牢度的方法,此方法就是通过使用简单方便的液相钝化方法,先在硅片表面上生长一层薄膜,再在生长的薄膜上用聚酰农副业 胺进行保护.
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