【摘 要】
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<正> 日本松下电气产业中央研究所在材料器件研究所的协助下,开发出采用两束激光烧蚀技术的软磁性镍锌(NiZn)铁淦氧薄膜低温形成技术.该技术在第19届日本应用磁气学会学术报
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<正> 日本松下电气产业中央研究所在材料器件研究所的协助下,开发出采用两束激光烧蚀技术的软磁性镍锌(NiZn)铁淦氧薄膜低温形成技术.该技术在第19届日本应用磁气学会学术报告会上发表.NiZn铁淦氧材料与以往那种合金系软磁性材料相比,电阻高10个量级、无涡流损耗、导磁率高,因此,作为实现便携式电话等下一代通信仪器用的微波段器件是最有发展前景的材料,实现薄膜化,为人们所热切关注.而以往那种利用电镀和溅射方法制成的薄膜,难以获得足够的软磁性,成为难以解决的课题.
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