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飞秒激光具有超强、超快的特点,可以用于大部分金属和非金属材料的微加工,在工业、医疗等微加工领域具有广泛应用。该文综述了微孔加工的方法并分析了各种加工方式的优缺点,介绍了飞秒激光的发展历程及在微加工中飞秒激光与物质的作用机理。利用飞秒激光加工系统在涡轮叶片、DD406高温合金材料以及蓝宝石等材料上进行了微加工测试,结果表明飞秒激光具备微加工能力,但要实现高精度的加工效果还需综合考虑加工环境、激光参数以及扫描方式等因素。