【摘 要】
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利用磁控溅射方法在Gd3Fe5O12衬底上制备外延Y3Fe5O12薄膜。在室温300K时,改变腔内氩气压得到不同气压下制备的Y3Fe5O12薄膜。样品都在空气中进行后退火处理,退火温度800℃/2
【机 构】
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湖北理工学院数理学院,湖北师范大学先进研究院
【基金项目】
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国家自然科学青年基金资助项目(51302074);国家自然科学一般面上基金资助项目(11374147)
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利用磁控溅射方法在Gd3Fe5O12衬底上制备外延Y3Fe5O12薄膜。在室温300K时,改变腔内氩气压得到不同气压下制备的Y3Fe5O12薄膜。样品都在空气中进行后退火处理,退火温度800℃/2h,退火升温速率是180℃/h,降温速率是120℃/h。通过测试发现薄膜的特性及膜厚等都依赖沉积氩气压PAr,沉积气压为2.394Pa时,样品的磁特性较好。为了能充分利用Y3Fe5O12纳米结构特性,利用电子束光刻蚀方法成功制备Y3Fe5O12纳米量级结构阵列,分析磁阻尼因子变化。
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