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如何实现PAS扫描机与NSR步进机混合匹配,从匹配的可行性、匹配步骤、匹配精度控制、匹配校准问题进行分析,最终实现PAS5500/700与NSR2205i12之间的匹配和混合光刻技术,包括:(1)PAS扫描机与NSR步进机系统的匹配目的;(2)PAS扫描机与NSR步进机系统的匹配步骤;(3)PAS扫描机与NSR步进机系统的匹配参数调整;(4)PAS扫描机与NSR步进机系统的匹配校准;(5)PAS扫描机与NSR步进机系统的匹配试验过程及结果;(6)PAS扫描机与NSR步进机系统的匹配结论。该技术已成功地应用于高性能集成电路器件的研制和生产,实现了180 nm线宽和350 nm线宽工艺的稳定匹配曝光。