【摘 要】
：
当集成电路的特征尺寸小于0.25μm时,浅沟道隔离(STI)逐渐成为CMOS工艺器件隔离的标准工艺技术。相比较于硅石(silica)研磨液,二氧化铈(CeO2)研磨液由于其比较高的研磨速度、
论文部分内容阅读
当集成电路的特征尺寸小于0.25μm时,浅沟道隔离(STI)逐渐成为CMOS工艺器件隔离的标准工艺技术。相比较于硅石(silica)研磨液,二氧化铈(CeO2)研磨液由于其比较高的研磨速度、高的选择比和自动停止的特性,而广泛地应用于直接的浅沟道隔离(DSTI)化学机械平坦化(CMP)工艺中。在简要介绍了CMP的一些基本知识后,着重介绍了CeO2研磨液的特性及其在直接的浅沟槽隔离化学机械平坦化(DSTI-CMP)中的应用。
其他文献
《中国青年》杂志1980年5月至1981年3月开展的《人生的意义究竟是什么?》的问题讨论(读者简称为“潘晓讨论”),可以说是当时思想解放浪潮中的一个浪头。我自始至终参与并且具
<正>未来三年,贝因美的目标是将销售复合增长率提升至20%,利润复合增长率达到30%。此外,贝因美争取五年营收超过100亿元。不过自2014年业绩下滑以来,贝因美的营收持续萎缩,20
改革开放以来,中国社会保障实现了制度全面转型和快速发展,取得了举世瞩目的成就,但同时应该看到,社会保障领域还存在许多问题,社会保障全民覆盖尚未到位、部分项目未能有效
柠条尺蠖在宁夏灵武市山沙区1年发生1代,以蛹越冬,4月下旬成虫开始大量产卵,初孵幼虫取食嫩叶为害;4~5龄幼虫食量猛增,可吐丝借风飘移传播到附近林木为害,受惊扰后吐丝下坠,
<正>1我是傻瓜吉姆佩尔。我不认为自己是个傻瓜。恰恰相反,可是人家叫我傻瓜。我在学校里的时候,他们就给我起了这个绰号。我一共有七个绰号:低能儿、蠢驴、亚麻头、呆子、苦
岳敏君是中国当代艺术家最重要的代表之一,其个人品牌形象就是“大笑”,这种笑容包含了其鲜明的形象和风格特征,确立了他在中国当代艺术界真实、牢固而又独特的位置。他的“
目的研究铝合金TIG焊接接头经喷射式微弧氧化后对腐蚀条件下疲劳寿命的影响,为延长焊接接头的使用寿命提供一种有效的方法。方法采用TIG焊对5083铝合金进行焊接,观察焊接接头
目的：建立单纯性脑震荡(pure cerebral concussion, PCC)大鼠模型,观察PCC损伤后大鼠海马脑区TNF-α表达的变化规律及EP2受体抑制剂AH6809对其干预的影响,探讨PCC后TNF-α表达
中欧建交四十年来,双边贸易额不断上升。然而,在经济低迷的环境下,欧盟贸易保护主义越来越强烈,对华贸易救济调查愈加频繁,导致中欧贸易摩擦不断升温。因此,本文总结了当前中