【摘 要】
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文章使用制绒混合溶液对金刚线多晶硅片制程不良片进行制绒返工。方案通过调整制绒溶液浓度来控制刻蚀深度,通过补加制绒添加剂控制硅片表面反射率。实验分析了三种制绒返工
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文章使用制绒混合溶液对金刚线多晶硅片制程不良片进行制绒返工。方案通过调整制绒溶液浓度来控制刻蚀深度,通过补加制绒添加剂控制硅片表面反射率。实验分析了三种制绒返工方案所制电池片的外观形貌和电学参数,对比不同返工方案所做电池片的不良率。结果显示:通过稀释制绒溶液并且补加添加剂将制绒刻蚀深度控制在0.35μm左右,并且控制硅片表面反射率在25%以下,有利于改善返工电池片的转换效率和电池片良率。
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