区熔单晶硅生产操作指导专家系统

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本文介绍区熔单晶生产操作指导专家系统。首先,系统实现了连续图象的自动变周期,定瞬间采样,并提出一种新的区域扩张增量图象处理算法。其次,叙述了知识的获取过程及类规则,提出分布的多库结构,并实现了不确定性推理。最后,开发了区熔单晶硅生产操作指导专家系统,实现了从数据和图象采集,处理,事实获取,推理到给出操作指导一体化。
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