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用直流磁控溅射方法分别在室温及不同温度的Si（100）衬底上沉积Fe膜,随后采用脉冲激光扫描进行退火,X射线衍射（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）表征了激光扫描对薄膜结晶性质和表面显微结构的影响。测量结果证实直接形成了Fe-Si化合物系的富硅高温相-αFeSi2,室温沉积样品的结晶性质随激光能量密度的增加而提高;反应沉积样品的结晶性质随衬底温度升高而提高。