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利用双探针对微波ECR氧离子体参数进行了诊断研究，测量了等离子体的双探针伏安曲线并计算出电子温度和离子密度，分析了气压、微波功率、氧气流量等参数对等离子体参数的影响．结果表明：a．随着气压的升高，等离子体密度先增大后减小，电子温度逐渐减小．b．等离子密度随微波功率的增加先增加后达到饱和，电子温度受微波功率影响很小．c．随着氧气流量的增加，等离子体密度和电子温度都减小．